本实用新型公开了高速卷绕多层电容薄膜镀膜机，包括的真空仓体经隔仓板隔有卷绕室和溅射蒸镀室，其分别通过上真空管路和下真空管路连接各自的真空抽气系统，真空仓体内设有蒸镀鼓，卷绕室设有由plc程序控制技术控制的由放卷组件、蒸镀鼓和收卷组件组成的薄膜卷绕系统；溅射蒸镀室设有由蒸镀鼓带动屏带辊组件组成的屏带卷绕系统；溅射蒸镀室还设有位于蒸镀鼓下侧的、第二磁控溅射平面铝靶、锌蒸发源，且、第二磁控溅射平面铝靶位于锌蒸发源的两侧。通过对展平的薄膜经蒸镀鼓通过位于溅射蒸镀室的磁控溅射平面铝靶镀一铝层，又经锌蒸发源镀一锌层，再经第二磁控溅射平面铝靶镀一铝氧化层，卷绕回到卷绕室收卷。
本实用新型涉及一种真空镀膜机多级行星式工件架。现行镀膜机的工件架为一级行星式工件架，完成对太阳能集热管的镀膜工艺相对来说效率较低。本实用新型是在一级行星式工件架的基础上设置多级行星式工件架，即在前一级的行星架上设置后一级行星轮系的行星架、定轮、行星轴，充分利用了镀膜机真空腔室内的空间，大大增加既可绕镀膜机真空腔室中心作“公转”，又可以作 “自转”的行星轴——待镀膜玻璃管的数量，从而提高了真空镀膜机单机、单次的产出率，也提高了靶材的利用率，相应减少了能耗，降低生产成本。
本实用新型公开了一种真空镀膜机收卷装置，其特征在于在减速器４的输出轴的一端通过链轮７和链轮８传动收膜辊组９，收膜辊组９的两个收膜辊通过一组三个齿轮的齿轮组１０同步同向转动，减速器４的另一端通过链轮３经链条与水冷辊１１上的传动轴上的大链轮６传动联接，在放纸辊１２的轴伸一侧有一个电磁张力控制器１４，收卷膜辊轴浮动放置在收膜辊组９的上面。
本实用新型涉及一种真空镀膜机多级行星式工件架。现行镀膜机的工件架为一级行星式工件架，完成对太阳能集热管的镀膜工艺相对来说效率较低。本实用新型是在一级行星式工件架的基础上设置多级行星式工件架，即在前一级的行星架上设置后一级行星轮系的行星架、定轮、行星轴，充分利用了镀膜机真空腔室内的空间，大大增加既可绕镀膜机真空腔室中心作“公转”，又可以作 “自转”的行星轴——待镀膜玻璃管的数量，从而提高了真空镀膜机单机、单次的产出率，也提高了靶材的利用率，相应减少了能耗，降低生产成本。
本实用新型公开了一种真空镀膜机收卷装置，其特征在于在减速器４的输出轴的一端通过链轮７和链轮８传动收膜辊组９，收膜辊组９的两个收膜辊通过一组三个齿轮的齿轮组１０同步同向转动，减速器４的另一端通过链轮３经链条与水冷辊１１上的传动轴上的大链轮６传动联接，在放纸辊１２的轴伸一侧有一个电磁张力控制器１４，收卷膜辊轴浮动放置在收膜辊组９的上面。
